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高純氣體特種氣體稀有氣體電子氣體標氣/混合氣同位素

乙硅烷


化學式:Si2H6

CAS登錄號:1590-87-0

分子量:62.22

外觀:在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體

用途:主要用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。

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氣體簡介

乙硅烷是一種無機化合物,其化學式為Si2H6,在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學性質,但其反應性比硅烷更強。它比硅烷更不穩定,在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300~500℃分解成為SiH4、SinHm、H2,在光照下也分解。主要用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。


基本性質
乙硅烷為無色透明液體,在空氣中自燃,著火點低于室溫,遇到空氣即瞬間燃燒,并分解成為SiH4和H2。燃燒濃度范圍寬,濃度在0.2%以上時,燃燒發出火焰;濃度在0.2%以下時,進行氧化反應生成白色的SiO2。在氯氣中爆炸性地燃燒。與鹵素氣體爆炸性地反應,但如果是在低溫,則適度地進行鹵化。與SF6接觸則爆炸。與四氯化碳和氯仿激烈反應。與堿金屬及汞合金反應分解生成硅烷和氫。與苛性鉀作用游離出H2。與純水和酸不反應,但與堿反應生成硅酸鹽和氫。即使從玻璃中溶解出的那種程度微量堿的存在,也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl雜質的存在下,在常溫也緩慢地分解。
Si2H6—→ SiH4+ (SiH2)x
乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蝕橡膠、黃油類、潤滑油、鉛等,但對大多數金屬不腐蝕。

主要用途
1、用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。在太陽能電池生產中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多,且溫度可降低200~300℃。 在離子注入中,以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強,效果明顯好于用其他氣體作離子源。
2、在半導體工藝中用于外延和擴散工藝,也用于太陽能電池和電子照相用的感光鼓。



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