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電子氣體
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高純氣體特種氣體稀有氣體電子氣體標氣/混合氣同位素

砷烷


別名:砷化三氫,三氫化砷

英文:arsine

化學式:AsH3

CAS登錄號:7784-42-1

外觀:無色氣體(常溫常壓)

分子量:77.94

純度:≥99.9999%

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氣體簡介

砷烷在室溫和大氣壓下是一種無色、劇毒、可燃氣體,有大蒜氣味.與空氣混合形成可燃混合氣。砷烷微溶于水和有機溶劑,易與高錳酸鉀、溴和次氯酸鈉等起反應生成砷的化合物。砷烷在室溫下穩定,在230-240℃下開始分解。砷烷是一種溶血性毒物,可中毒神經。 用 途: 砷烷用于半導體工業中外延硅的“N”型摻雜,硅中“N”型擴散,離子注入,生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與Ⅲ/V族元素形成的化合物半導體。 工業上生產的砷烷用于有機合成。


包裝及貯運
包裝標志:有毒氣體。副標志:易燃氣體。砷烷無腐蝕性,因此大部分市售材料均可用。但是,由于砷烷主要用于半導體工業,因此推薦采用不銹鋼材質。在高純系統中要用不銹鋼減壓器。 由于砷烷是劇毒和可燃氣體,因此使用和貯存僅可在通風的氣瓶柜、排風柜或有強制通風的房間內。由于它與空氣混合可形成爆炸混合氣,因此應遠離熱源和火源。使用前所有管線、接頭、設備等應徹底檢漏和接地,僅可使用防火花工具和防爆設備。 運輸中鋼瓶閥必項保護和密封。CGA規定,裝運砷烷的氣瓶必須每5年試一次水壓。在砷烷氣瓶上禁止使用泄壓部件。材料需采用耐熱分解的鐵、銅。設計要考慮能耐足夠的高壓。

用途
用于有機合成、軍用毒氣,及應用于科研或某些特殊實驗中,集成電路,太陽能電池等。


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