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電子氣體
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高純氣體特種氣體稀有氣體電子氣體標氣/混合氣同位素

磷烷


化學式:PH3

CAS登錄號:7803-51-2

分子量:34.04

外觀:無色氣體,有蒜臭味

毒性:劇毒

腐蝕性:無腐蝕

純度:≥99.9999%

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作用
在電子氣家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應用量較大,是IC制造極為重要的原料。其中的磷烷是半導體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時 磷烷還用于多晶硅化學氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。
PH3 ,易燃、易爆、劇毒,其毒性 數為:PEL/TLV 0.3ppm, STEL 1ppm,LC50 20ppm,IDLH 200ppm,屬劇毒危害品。

應急處理處置
一、泄漏應急處理
迅速撤離泄漏污染區人員至上風處,并立即隔離450米,嚴格限制出入。切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器,穿防毒服。盡可能切斷泄漏源。合理通風,加速擴散。噴霧狀水稀釋、溶解。構筑圍堤或挖坑收容產生的大量廢水。如有可能,將漏出氣用排風機送至空曠的地方或裝設適當噴頭燒掉。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。
二、防護措施
呼吸系統防護:正常工作情況下,佩帶過濾式防毒面具(全面罩)。高濃度環境中,必須佩戴空氣呼吸器或氧氣呼吸器。緊急事態搶救或撤離時,建議佩戴空氣呼吸器。
眼睛防護:戴化學安全防護眼鏡。
身體防護:穿面罩式膠布防毒衣。
手防護:戴橡膠手套。
其它:工作現場嚴禁吸煙、進食和飲水。工作畢,淋浴更衣。保持良好的衛生習慣。進入罐、限制性空間或其它高濃度區作業,須有人監護。
三、急救措施
吸入:迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸。就醫。
滅火方法:消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器、穿全身防火防毒服,在上風處滅火。切斷氣源。若不能立即切斷氣源,則不允許熄滅正在燃燒的氣體。噴水冷卻容器,可能的話將容器從火場移至空曠處。滅火劑:霧狀水、泡沫、干粉、二氧化碳。


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